砷化镓CMP抛光液
TJHG-SH-1855TJHG-SH-1855型砷化镓CMP抛光液是广东腾骏化工科技有限公司生产的新一代水溶性高纯度CMP浆料,具有稳定性好、浓度高、抛光速率快等特点。该产品在实际应用中凭借高稀释比例、低金属离子污染等卓越的性能得到了客户的充分肯定,主要用于砷化镓晶片的抛光工艺中。
二、主要特点TJHG-SH-1855型 CMP抛光液采用我公司自主合成生产的高纯纳米SiO2水溶胶作为磨料,具有生产自动化高,稳定性好,浓度较高,粒径均一性好,杂质沾污少等特点。该产品选用的辅助试剂多为有机试剂,避免了无机物对设备的腐蚀以及操作的危险性。产品无毒无味,非常适用于集成电路用砷化镓晶片的抛光工艺。在抛光中根据需要可以优化不同配比,均能达到最佳使用效果。与同类产品相比,该产品能够有效控制晶片表面的各种金属沾污,主要参数指标均能满足IC要求。
三、主要用途TJHG-SH-1855型 CMP浆料主要用于砷化镓晶片的高质量抛光,也可用于锗片的抛光。
四、基本参数pH值 | 比重 | 粘度(mPa.s,25℃) | 粒径(nm) | SiO2% | 外观 |
10.0-11.0 | 1.265-1.300 | ≤5 | 120-140 | 38-42 | 乳白色 |
根据工艺将抛光原浆料按一定比例与去离子水混合后使用。
1、浆料使用过程中尽量避免直接暴露,防止污染物进入浆料中造成划伤。
2、冬季气温较低(<5℃)时,浆料不可放置室外,需存放在恒温仓库,一旦发生凝胶将不可使用。
3、浆料使用过程中需要及时清洗管路和器具,避免浆料长期残留在管路和容器中造成凝胶,引起晶片表面划伤。
4. 浆料循环使用时,需要在管口添加过滤装置,以免发生凝胶而又反复应用造成晶片表面划伤。
七、运输及保存1、运输与存放温度为5-40℃,25℃为最佳存放温度,存放时应避光,以避免浆料变质。
2、保质期一年,建议半年内使用。
3、避免金属、颗粒污染,避免强电解质的接触。
包装规格25kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。
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