铝合金CMP浆料
TJHG-IE-1912HPHE/AAPS-IE-1912型CMP抛光液是广东腾骏化工科技有限公司开发的新型高纯度胶体抛光液。该产品广泛运用于铝合金中框的CMP工艺中。产品CMP加工中具有移除速率高、悬浮性强、易清洗、使用寿命长等特点,能够达到较好的镜面效果和完美性;应用在高新技术产品的铝合金材料加工方面,能够达到良好的视觉效果提高产品的精度。该类产品在实际应用中,凭借粒径均匀、浓度高等卓越的性能得到了客户的充分肯定。
二、主要特点HPHE/AAPS-IE-1912型CMP抛光液采用粒径适中的纳米级SiO2水溶胶作为磨料,具有移除速率高、悬浮性强、易清洗、使用寿命长等特点。该产品在CMP过程中根据需要可以优化不同配比,避免工件腐蚀,提高工件表面的光泽度,达到最佳的表面效果。
三、主要用途主要用于铝合金的CMP工艺中。
四、基本参数pH值 | 比重 | 粘度(mPa.s,25℃) | 粒径(nm) | SiO2% | 外观 |
9.0-11.0 | 1.265-1.300 | ≤5 | 80-100 | 38-42 | 乳白色 |
建议TJHG-IE-1912型CMP浆料和去离子水的配比为1:1, 也可根据实际工艺要求改变配比。
1、CMP浆料使用过程中尽量避免直接暴露,防止污染物进入浆料中造成划伤。
2、冬季气温较低(<5℃)时,浆料不可放置室外,需存放在恒温仓库,一旦发生凝胶将不可使用。
3、浆料使用过程中需要及时清洗管路和器具,避免浆料长期残留在管路和容器中造成凝胶,引起晶片表面划伤。
4. 浆料循环使用时,需要在管口添加过滤装置,以免发生凝胶而又反复应用造成晶片表面划伤。
七、运输及保存1、运输与存放温度为5-40℃,25℃为最佳存放温度,存放时应避光,以避免浆料变质。
2、保质期一年,建议半年内使用。
3、避免金属、颗粒污染,避免强电解质的接触。
包装规格25kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。
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