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磷化铟抛光液是广东腾骏化工科技有限公司生产的新一代水溶性高纯度CMP浆料，具有稳定性好、浓度高、抛光速率快等特点。该产品在实际应用中凭借高稀释比例、低金属离子污染等卓越的性能得到了客户的充分肯定，主要用于磷化铟晶片的抛光工艺中。

浆料采用我公司自主合成生产的高纯纳米SiO2水溶胶作为磨料，具有生产自动化高，稳定性好，浓度较高，粒径均一性好，杂质沾污少等特点。该产品选用的辅助试剂多为有机试剂，避免了无机物对设备的腐蚀以及操作的危险性。产品无毒无味，非常适用于晶片的抛光工艺。在抛光中根据需要可以优化不同配比，均能达到最佳使用效果。与同类产品相比，该产品能够有效控制晶片表面的各种金属沾污，主要参数指标均能满足IC要求。

主要用于晶片的高质量抛光

1、浆料使用过程中尽量避免直接暴露，防止污染物进入浆料中造成划伤。

2、冬季气温较低（<5℃）时，浆料不可放置室外，需存放在恒温仓库，一旦发生凝胶将不可使用。

3、浆料使用过程中需要及时清洗管路和器具，避免浆料长期残留在管路和容器中造成凝胶，引起晶片表面划伤。

4、浆料循环使用时，需要在管口添加过滤装置，以免发生凝胶而又反复应用时造成晶片表面划伤。

1、运输与存放温度为5-40℃，25℃为最佳存放温度，存放时应避光，以避免抛光液变质。

2、保质期一年，建议半年内使用。

3、避免金属、颗粒污染，避免强电解质的接触。