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随着半导体器件集成度的大尺寸晶片集成度的提高，无损伤、无灰雾、无重金属污染、无脂肪、无纳米形貌的镜面硅表面是必不可少的。富士见公司开发的 GLANZOX 系列正是为了满足这一要求。GLANZOX 抛光剂由分散在由特殊成分组成的液体中的胶体二氧化硅构成。该产品可获得几乎完美的抛光表面。最近，为了满足大幅减少影响设备特性的金属杂质的要求，我们开发出了更高级别的抛光剂。